Recomenda-se a forma subjetivação.
Consultando textos em francês, de Michel Foucault (1926-1984) ou relativos às ideias deste filófoso, verifica-se que o termo utilizado em francês é subjectivation (ler aqui, em francês), que corresponde ao português subjetivação. Este é um derivado de subjetivar, que significa, como subjetivizar, «tornar subjetivo».
Sendo assim, porque o termo foi cunhado em francês, afigura-se preferível empregar subjetivação, como forma portuguesa homóloga, que de resto é a predominante na tradução e comentário deste conceito proposto e explorado por Foucault (ver resultados de uma pesquisa Google aqui).