Escreve-se aglutinadamente: subsuperfície.

O radical sub- só se associa à palavra seguinte por hífen, se dessa aglutinação resultar uma leitura indesejada, perdendo-se a autonomia fonética da palavra-base, por exemplo, na palavra sub-reptício.

Caso contrário, aglutina-se sempre à palavra principal: subarrendar, subdiretor, etc.