Segundo o «Dicionário Etimológico da Língua Portuguesa» de José Pedro Machado, o termo micro é o mesmo mícron, palavra que vem "do grego 'mikrón', neutro de 'mikrós'".

Temos ainda o elemento de composição culta -micro-, que traduz a ideia de "pequeno", porque vem do grego 'mikós', que significa "pequeno, em pequena quantidade, pouco considerável; de qualidade medíocre, pouco importante, fraco".